SUSS steigt in Milliardenmarkt für Waferreinigung ein
SUSS Microtec (ehem. Süss) über LYNX Broker handeln
SUSS erweitert sein Geschäft um Anlagen zur Waferreinigung und adressiert damit nach eigenen Angaben einen Markt mit einem Volumen von rund 5,4 Milliarden Euro. Unter der neuen Produktlinie GreenTec Solutions bringt der Halbleiter-Ausrüster aus Garching bei München zunächst die Plattform GT200 für 200-Millimeter-Wafer auf den Markt. Wachstumstreiber für das neue Geschäftsfeld sieht SUSS insbesondere in Advanced Packaging, heterogener Integration sowie der steigenden Halbleiternachfrage für KI und High-Performance-Computing.
„GreenTec Solutions ist ein wichtiger Meilenstein in der Umsetzung unserer Ambition-2030-Strategie. Mit der Expansion in die Waferreinigung erschließen wir einen attraktiven Markt mit erheblichem langfristigem Wachstumspotenzial - und bauen gleichzeitig auf bewährten Technologien und Prozesskompetenz aus unserem bestehenden Portfolio auf”, sagt Burkhardt Frick, Chief Executive Officer von SUSS.
Technologisch greift SUSS auf Verfahren zurück, die bereits bei der Fotomaskenprozessierung eingesetzt werden. Die Technologien TurbulenStrip und CrustBuster sollen Fotolacke und andere Rückstände entfernen und dabei den Einsatz von Chemikalien reduzieren. Nach Angaben des Unternehmens kommen die Lösungen ohne gefährliche Säuren und organische Lösungsmittel aus. Die GT200-Plattform richtet sich an Forschung und Entwicklung, Prozessqualifizierung und Produktion, unter anderem für MEMS-, RF-, Power-Device- und CMOS-Anwendungen.
Mit dem GT200 soll der Einstieg in den neuen Markt allerdings nicht abgeschlossen sein. SUSS plant bereits für 2027 eine GreenTec-Plattform für die 300-Millimeter-Großserienproduktion. Die Markteinführung dieser Variante wurde nach Unternehmensangaben aufgrund starken Kundeninteresses vorgezogen. Eine entsprechende Plattform für die 200-Millimeter-Großserie soll 2028 folgen. Damit will SUSS das Angebot von der Prozessentwicklung und Qualifizierung bis zur industriellen Volumenfertigung ausbauen.
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