Aixtron liefert MOCVD-System an Ohio State University

Die Ohio State University aus den USA hat von Aixtron ein MOCVD-System erworben. Das Close Coupled Showerhead System wird für die Epitaxie von Galliumoxid und Aluminiumgalliumoxid auf 100-mm-Substraten eingesetzt. Ziel ist die Entwicklung von Halbleiterbauelementen der nächsten Generation mit breiter oder ultrabreiter Bandlücke.

Finanzielle Details nennt Aixtron am Donnerstag nicht.

Das CCS-MOCVD-System von Aixtron ermöglicht die Abscheidung hochwertiger, homogener Dünnschichten für Verbundwerkstoffe. Galliumoxid und seine Legierungen bieten gegenüber herkömmlichen Halbleitern Vorteile bei höheren Spannungen, Frequenzen und Temperaturen.

Die Forscher der Ohio State University nutzen das System, um Materialeigenschaften zu untersuchen und neue Bauelementarchitekturen zu entwickeln. Der Reaktor wird im Nanotech West Lab installiert. Das Labor gehört zum Institute for Materials and Manufacturing Research der Universität und steht der Materialforschungsgemeinschaft zur Verfügung.

Die Aixtron Aktie (WKN: A0WMPJ, ISIN: DE000A0WMPJ6, Chart, News) notiert bei 17,83 Euro mit 1,19 Prozent im Plus.

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